半導体リソグラフィー用オーブンランプ

製造現場では、フォトレジストの焼成中に0.5°Cもの温度変動があれば、生産された製品全体が廃棄処分になってしまいます。不確かな加熱では不十分です。確実に所定の温度を維持できる加熱システムが必要です。 技術的に重要な点 当社のリソグラフィーオーブン用ランプは、フォトレジストが吸収する波長域において、...