固体電池加工用ヒーター

製造現場において、固体電池用ウェーハの加工工程では、温度変動を許容する余地はありません。わずか1度の温度偏差であっても、ウェーハ全体の均一性が損なわれてしまいます。また、過度に高温で加熱すると、ウェーハの形状が崩れてしまいます。私たちは、リソグラフィーや硬化処理の際の温度を一定に保つために、赤外線...