생산 현장에서는, 솔리드스테이트 배터리 웨이퍼를 처리할 때 열 변동의 여지가 전혀 없습니다. 단 1도라도 온도가 틀어지면 웨이퍼의 각 부분에 온도 차이가 생기게 되며, 과도하게 높은 온도에서 가열하면 웨이퍼의 형태가 변형됩니다. 저희는 리소그래피 및 경화 공정이 정해진 온도 범위 내에서 이루어지도록 적외선 가열 장치를 설계했습니다. 이를 통해 반복적인 생산 과정에서도 일관된 결과를 얻을 수 있습니다.
실제로 중요한 것은 검증 가능한 제어 능력입니다. 단파 적외선은 에너지를 빠르게 얇은 필름과 기판에 전달하며, 활성 영역 전체에서의 온도 변동은 ±0.1°C에 불과합니다. 반복적인 가열 과정에서의 온도 변동은 ±0.5°C로 매우 낮아서, 소프트 베이크, 하드 베이크, 포스트-어플라이 베이크와 같은 공정들도 문제없이 진행됩니다. 이 장비는 클래스 1–100 등급의 청정실에서도 사용할 수 있으며, 작동 중에는 입자가 전혀 발생하지 않습니다. 저희는 24/7 연속 가동이 가능하도록 설계했으며, 긴 시간 동안 안정적으로 작동할 수 있도록 MTBF 데이터도 함께 제공합니다.
이 장비가 유용한 이유는, 공정의 온도 범위가 매우 좁고, 생산 시간도 매우 소중하기 때문입니다. 설정된 온도에 더 빠르게 도달할 수 있으며, 치명적인 오차도 줄어듭니다. 또한, 적외선은 주변 부분이 아닌 목표물만을 가열하기 때문에 에너지 소비도 줄어듭니다. 그 결과, 과도한 가열이나 불충분한 가열로 인한 폐기물도 줄어들고, 제품군이 달라져도 온도 프로파일이 안정적으로 유지되어 가동 시간도 향상됩니다.
실용적인 팁을 드리자면, 적외선의 성능은 물체의 방사율과 반사율에 따라 달라집니다. 코팅된 기판이나 다층 구조의 경우, 적절한 가열 조건을 찾기 위해 먼저 열 특성을 확인해야 합니다. 일단 이를 파악하면, 시스템은 최소한의 오차로 그 온도 프로파일을 유지할 수 있습니다. 하지만 일관된 결과를 얻으려면 반드시 초기 단계에서 온도 특성을 확인해야 합니다.