드라이 필름 저항 라미네이팅 히터

라미네이팅 히터 라인에서, 심지어 머리카락 하나가 드리프트되는 라미네이팅 히터는 포토레지스트 두께를 불확실하게 만듭니다. 이는 브리징 트레이스, 사이드월 스트라이에이션, 개발 후 폐기되는 웨이퍼에서 볼 수 있습니다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 드라이 필름...