초고순도 물 가열 램프

팹 내에서는 포토레지스트를 가열하거나 웨이퍼를 건조시킬 때 온도가 변동하는 것은 단순한 학문적 문제가 아닙니다. 이는 실제 생산성에 직접적인 영향을 미치는 요소입니다. 0.5°C의 온도 변동만으로도 제품의 치수에 영향을 줄 수 있으며, 서서히 온도가 상승하면 과정에서...