OLED 제조용 건조 램프

OLED 라인에서 건조는 멈춤이 아니다. 제어 지점이다. 웨이퍼는 린스 후 나와서 리소그래피 전에 안정된 표면 상태여야 한다. 포토레지스트를 충분히 건조하지 않으면 엣지 비드가 형성되고, 이후 정렬 오버레이가 드리프트하기 시작한다. 베이크가 고르지 않으면 선폭 분포가...