진공 챔버용 적외선 히터

1등급 클린룸 내에서, 300mm 웨이퍼가 가열판 위에 놓입니다. 포토레지스트의 건조는 인위적인 조절이 아닌 온도에 의해 이루어집니다. 표면 온도가 2°C만 변해도 CD의 형태가 변하거나 리소그래피 층이 손상될 수 있으며, 그로 인해 일주일 치의 작업 성과가 사라질...