전자 기기를 위한 정밀 적외선 히터

공정에서의 사전 베이킹 90°C에서 ±0.5°C의 편차로 사전 베이킹을 수행하면 CD 균일성이 저하되고 수율에 영향을 미치게 됩니다. 온도는 배경 조절 장치가 아니라 포토레지스트의 동작 방식, 부착 방식, 그리고 패턴이 후속 공정에서 유지되는지의 여부를 정의합니다....