Veeco MOCVD 히터 램프

생산 현장에서는 온도 변동이 눈에 띄게 나타나지 않습니다. 그점차적으로 제품의 품질을 저하시킬 뿐입니다. MOCVD 공정에서는 균일하지 않은 램프의 성능으로 인해 웨이퍼 전체에 두께 및 성분의 차이가 생깁니다. 이를 분광학적으로 확인할 수 있으며, 장치의 성능에서도...