웨이퍼용 고정밀 IR 센서
왜 웨이퍼 가공에 강제 공기 난방 대신 적외선 난방을 사용하는가?
반도체 가공 분야에서 일해본 사람이라면 기다리는 시간이 얼마나 짜증나는지 잘 알 것입니다. 특히, 뜨거운 공기를 이용해 웨이퍼의 온도를 올리는 데 걸리는 시간이 문제입니다.
문제는 강제 공기 난방이 너...
전자 기기를 위한 정밀 적외선 히터
공정에서의 사전 베이킹 90°C에서 ±0.5°C의 편차로 사전 베이킹을 수행하면 CD 균일성이 저하되고 수율에 영향을 미치게 됩니다. 온도는 배경 조절 장치가 아니라 포토레지스트의 동작 방식, 부착 방식, 그리고 패턴이 후속 공정에서 유지되는지의 여부를 정의합니다....