Di bilik pembuatan cip yang canggih ini, sekiranya terdapat sedikit kesilapan dalam proses pemanggangan, ia boleh menjejaskan keseluruhan kualiti produk yang dihasilkan. Konsistensi suhu akan berubah, profil bahan fotoreseptor juga akan berubah, dan hasil pengeluaran akan terjejas. Kami mencipta mentol pemanas wafer yang murah ini untuk mengelakkan masalah tersebut sejak awal.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Ia merupakan lampu NIR yang mempunyai selubung kuarsa yang stabil serta filamen yang sesuai. Oleh itu, outputnya tetap konsisten semasa proses pengeringan wafer, pemanggangan bahan fotoreseptor, dan proses lain yang berkaitan. Profil spektrum lampu ini memastikan tenaga disalurkan ke tempat yang tepat agar bahan fotoreseptor dapat menyerapnya dengan efektif. Ini seterusnya membantu menjaga suhu substrat agar tetap rendah. Konsistensi suhu di kawasan panas berada dalam lingkungan ±0.1°C, dan jumlah zarah yang terbentuk sangat sedikit di bilik bersih kelas 1–100. Output lampu ini tetap stabil walaupun digunakan selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan prestasi kurang dari 5%.
Mengapa ia berkesan dalam proses litografi
Dalam proses litografi, proses pemanggangan yang dilakukan secara perlahan membantu mengawal lebar garisan pada cip. Lampu NIR ini membolehkan bahan fotoreseptor mencapai suhu yang diinginkan dengan cepat dan secara merata. Ini memastikan bahan pelarut dapat keluar daripada bahan fotoreseptor tanpa menyebabkan kesan negatif. Lampu ini juga berfungsi untuk mengeringkan wafer selepas proses pembersihan, tanpa meninggalkan kesan buruk pada wafer tersebut. Selain itu, lampu ini juga dapat membantu proses pengeringan bahan fotoreseptor tanpa perlu pemangganan yang berlebihan. Hasilnya, konsistensi ukuran cip menjadi lebih baik, keperluan untuk membuat semula cip berkurangan, dan masa yang diperlukan untuk menyelesaikan proses pengeluaran menjadi lebih singkat.
Penggunaan tenaga berkurangan kerana respons lampu ini yang cepat dan tepat. Selain itu, jangka hayat lampu yang panjang membantu mengurangkan kos penggantian lampu, masa henti operasi, dan kos alat ganti.
Apa yang perlu diketahui sebelum menukar lampu
Lampu ini direka khusus untuk digunakan dalam kotak lampu standard. Pastikan jenis sambungan dan bentuk reflektor sesuai sebelum menukar lampu tersebut. Pastikan voltan yang digunakan sesuai, dan pastikan profil haba lampu tersebut sesuai dengan proses pengeluaran yang anda gunakan.
Lampu ini beroperasi pada intensiti yang tinggi. Oleh itu, gunakan perlindungan yang sesuai serta sistem pengsambungan yang tepat. Dengan penyesuaian yang tepat, lampu ini dapat digunakan dalam mesin yang ada, dan memastikan proses pengeluaran berjalan dengan lancar.