
Berhenti menunggu oven berfungsi: Mengapa pemanasan inframerah merupakan pilihan yang lebih baik
Jika anda masih menggunakan kaedah pemanasan udara untuk proses pemprosesan semikonduktor, anda sebenarnya menghabiskan separuh hari anda hanya untuk menunggu.
Fikirkan bagaimana cara kerja pemanasan udara. Udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian udara tersebut akan memanaskan wafer. Ia merupakan proses yang lambat. Ia sama seperti cuba memanaskan sebuah bilik dengan menggunakan pengering rambut.
Pemanasan inframerah pula berbeza. Ia menggunakan tenaga radiasi untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Tiada perantara, dan tidak perlu menunggu udara “menyamai suhu yang diinginkan”.
Kos sebenar daripada menunggu
Sesiapa yang pernah bekerja di bilik pemanasan pasti tahu betapa menyakitkannya menunggu. Anda tetapkan suhu yang diinginkan, kemudian… tunggu saja. Dengan lampu inframerah, anda dapat mencapai suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja. Ini merupakan perbezaan yang besar dari segi masa yang diperlukan untuk proses pemprosesan. Ini sangat penting semasa proses penyembuhan atau pengeluaran gas berlebihan daripada wafer. Jika anda tidak dapat meningkatkan suhu dengan cepat, wafer boleh rosak, dan itu akan menimbulkan masalah yang serius.
Kelebihan dan kekurangan (kerana tiada yang sempurna)
Kelebihan utama ialah saiznya yang kecil. Anda boleh menghilangkan pam udara yang besar dan bising, serta saluran udara yang rumit. Anda hanya perlu sambungkan lampu tersebut ke sistem kawalan suhu, dan semuanya akan berjalan lancar.
Namun, anda perlu berhati-hati. Kerana pemanasan inframerah sangat cepat, mudah untuk melebihi suhu yang diinginkan. Jika lampu tersebut tidak diletakkan dengan tepat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu menjadi terlalu panas. Anda juga memerlukan pengawal suhu yang mampu mengikuti kelajuan pemanasan tersebut. Jika tidak, suhu boleh melebihi had yang ditetapkan sebelum anda sedari.
Mengapa semua orang beralih kepada pemanasan inframerah
Ia semua bergantung pada kelajuan untuk meningkatkan suhu dari suhu bilik ke suhu yang diinginkan. Selain itu, pemanasan inframerah memberikan suhu yang lebih konsisten pada seluruh permukaan wafer. Anda tidak perlu bergelut dengan arus udara yang tidak stabil atau membazir tenaga elektrik untuk memanaskan bahagian logam mesin yang besar. Tenaga akan digunakan di tempat yang sepatutnya.
Jika lini pengeluaran anda masih bergantung pada oven yang menggunakan udara untuk pemanasan, anda sebenarnya sedang membazir wang. Beralih kepada pemanasan inframerah bukanlah tentang peningkatan teknologi yang rumit – ia adalah cara untuk mempercepatkan proses pemprosesan wafer.
Lebih banyak pengeluaran. Kos setiap wafer yang lebih rendah. Waktu yang digunakan untuk menunggu juga berkurangan.