Op de productielijn is een temperatuurverschil van 0,5°C tijdens het verhitten van de fotoresist al voldoende om een hele batch onbruikbaar te maken. Je hebt geen onvoorspelbare hitte nodig; je hebt hitte die zich consequent gedraagt.
Wat technisch gezien belangrijk is De lampen in onze lithografieoven zenden kortegolf-infraroodlicht uit met nauwkeurige spectrale controle. Dit licht wordt juist opgenomen door de fotoresist, zodat er snel en efficiënt warmte wordt toegepast op het oppervlak. De uniformiteit van de temperatuur op het gewicht blijft binnen ±0,1°C over het hele verhittingsgebied. Bovendien blijft de consistentie van de behandeling hetzelfde van het ene proces tot het andere.
Het lampaartsel en de reflectoren zijn ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Er wordt geen vuil geproduceerd, zoals blijkt uit de in-situ monitoring. De output van de lampen blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afname in intensiteit. Hierdoor blijft de thermische efficiëntie voorspelbaar.
Waarom dit werkt Bij het drogen van de wafer houdt de snelle, gecontroleerde hitte de oppervlaktespanning onder controle, waardoor hercontaminatie tijdens het afkoelen wordt voorkomen. Tijdens het zachte verhitten worden oplosmiddelen verwijderd, zonder dat de fijne structuren beschadigen. Hierdoor verbetert de controle over de dikte van de lijnen.
Voor het harde verhitten en harden zorgt dezelfde lamparchitectuur voor consistente kruislinking. Hierdoor krijg je een betrouwbare hechting voor de volgende stappen in het proces en voor het verpakken. Het resultaat is minder herwerkingen, minder afval en constante cyclustijden.
Ook het energieverbruik neemt af. De lamp verwarmt alleen wat nodig is, met een snelle inschakel-/uitschakelreactie en minimale warmteopslag.
Wat je moet weten Het is belangrijk dat de lamp goed past in de lithografieoven of hotplate. Na het vervangen van de lamp moet er even tijd zijn voor het herstel van de stabiele temperatuur en de uniformiteit. Voor optimale uniformiteit moet de lamp worden aangepast aan de specifieke reflectoren en kamergestructuur. Als niet-compatible onderdelen worden gebruikt, zal de prestatie achterblijven. Na installatie moeten er teststrips worden uitgevoerd om de temperatuurcurve en het aantal deeltjes te controleren. Vervolgens kan het procesprofiel worden vastgesteld.