ในห้องสะอาดระดับคลาส 1 วงแหวนสารกึ่งตัวนำขนาด 300 มิลลิเมตรจะถูกวางไว้บนแผ่นร้อน การปรับค่าอุณหภูมิของสารกึ่งตัวนำนั้นทำได้โดยอาศัยอุณหภูมิจริง ไม่ใช่การคาดเดา อุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงเพียง 2 องศาเซลเซียสก็สามารถส่งผลให้ข้อมูลบนแผ่นซีดีเสียหายได้ และอาจทำให้ผลผลิตในหนึ่งสัปดาห์สูญเสียไปได้ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดไว้ในห้องสุญญากาศ เพื่อขจัดความคาดเดาออกไป
สิ่งที่สำคัญภายในห้องสุญญากาศ เครื่องทำความร้อนนี้ใช้เครื่องกำเนิดความร้อนแบบควอตซ์คลื่นสั้น เพื่อให้ความร้อนโดยตรง โดยมีเวลาตอบสนองเพียงไม่กี่มิลลิวินาทีเท่านั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนวงแหวนสารกึ่งตัวนำอยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส และความสม่ำเสมอของผลลัพธ์ระหว่างการผลิตแต่ละครั้งอยู่ที่ 0.05 องศาเซลเซียส ตัวห้องสุญญากาศทำจากสแตนเลสชนิด 316L ซึ่งผ่านการขัดเงาอย่างดี เพื่อลดการปล่อยก๊าซออกมา และสามารถรักษาความดันสุญญากาศไว้ที่ 10^-6 mbar การออกแบบห้องสะอาดทำให้ไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นเลย แม้จะทำงานที่อุณหภูมิ 250 องศาเซลเซียสเป็นเวลา 5,000 ชั่วโมงก็ตาม ระบบควบคุมอุณหภูมิแบบปิดช่วยให้อุณหภูมิอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ โดยไม่มีการเปลี่ยนแปลงมากเกินไป
เหตุใดวิธีนี้จึงมีประสิทธิภาพในการประมวลผลสารกึ่งตัวนำ อุณหภูมิมีความสำคัญมาก ดังนั้นเครื่องทำความร้อนนี้จึงสามารถให้ความร้อนได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยให้ขนาดของวงแหวนสารกึ่งตัวนำมีความสม่ำเสมอ และลดการต้องทำงานซ้ำอีก การเพิ่มอุณหภูมิอย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาการผลิต และความจุความร้อนที่ต่ำช่วยลดการใช้พลังงาน ดังนั้นจึงได้ผลผลิตที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ ไม่มีของเสียมาก และสามารถวางแผนการบำรุงรักษาได้อย่างชัดเจน
สิ่งที่ควรคำนึงถึง การติดตั้งเครื่องทำความร้อนนี้ต้องคำนึงถึงรูปร่างของห้องสุญญากาศและคุณสมบัติการแผ่รังสีของวัสดุที่ใช้ จากนั้นจึงปรับเครื่องทำความร้อนให้เหมาะสมกับภาระความร้อนที่เกิดขึ้น ควรมีการทดสอบระบบเพื่อปรับตำแหน่งของเครื่องวัดอุณหภูมิและอัตราการเพิ่มอุณหภูมิ เมื่อปรับเสร็จแล้ว ระบบก็จะทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ แต่ก็ควรมีการตรวจสอบเครื่องกำเนิดความร้อนทุกไตรมาส และปรับแต่งระบบทุกปี เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส