Wafer işleme sırasında meydana gelen lamba patlamalarının önlenmesi
Yüksek yoğunlukta üretim yaptıysanız bu durumun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Bu kızılötesi lambalar büyük baskılara maruz kalır. Ve bir gün bu lambalardan biri patladığında işler berbat olur. Cam parçaları ve kimyasal maddeler her yere saçılır; bu da waferlerin kirlenmesine ve verimin hemen düşmesine neden olur. Bu, kimseyle uğraşmak istemeyeceği bir durumdur.
Bunu önlemenin bir yolunu bulduk. Özel bir yansıtıcı yapı ekledik; bu yapı iki işlevi birden yerine getirir: Hem optik gücü artırır hem de fiziksel bir koruma sağlar.
Nasıl çalışıyor?
Yüksek saflıkta alüminyum kullanıyoruz ve bunun üzerine özel bir anodik kaplama uygulanıyor. Buradaki amaç sadece kızılötesi enerjinin tekrar waferlere yönlendirilmesi değil; aynı zamanda kuvars kabuğu ile iş parçası arasında bir bariyer oluşturulmasıdır. Eğer bir lamba termal şok nedeniyle patlarsa, yansıtıcı yapı enkazları yakalar. Enkazın çoğu yansıtıcı yapının içinde kalır. Böylece her lamba patladığında tesisin tamamen durdurulmasına gerek kalmaz.
Isı faktörü ve dezavantajları
Bu yansıtıcı yapılar yüksek güç yoğunlukları için tasarlanmıştır. Odak noktasını ayarlayarak ısıyı makine çerçevesine değil, waferlere yönlendirmiş oluyoruz. Ancak burada bir trade-off var: Daha dar bir odak noktası daha yoğun ısı anlamına gelir. Eğer soğutma fanlarınız zayıfsa, yansıtıcı yapı da aşırı ısınabilir ve bu da kaplamanın zarar görmesine neden olabilir. Bu sorun basit bir şekilde çözülebilir; ancak her 2.000 saatte bir yüzeyin okside olup olmadığını kontrol etmek gerekiyor. Böylece her şeyin hala düzgün olduğundan emin olabilirsiniz.
Montajı nasıl yapılır?
Bunları yerine takılabilir parçalar olarak tasarladık. Tüm makine düzeninizi yeniden tasarlamak veya ekipmanlarınızı hareket ettirmek zorunda kalmazsınız. Yansıtıcı yapı, lambanın etrafına kolayca takılır. Eğer lamba ciddi şekilde hasar görürse, kirlilik sadece o bölgede kalır. Bu da değiştirme işlemini çok daha kolay hale getirir. Sadece bozuk lambayı ve yansıtıcı yapıyı çıkarın, parçaları temizleyin ve yeni bir set takın. Böylece diğer ürünlerinize zarar vermeden işinize devam edebilirsiniz.