Üretim alanında, foto dirençlerin ısıtılması veya yongaların kurutulması sırasında meydana gelen sıcaklık değişiklikleri sadece teorik bir konu değildir. Bu durum, ölçülebilen bir verimlilik kaybına yol açar. 0,5°C’lik bir sıcaklık değişikliği bile kritik ölçümleri etkileyebilir; ayrıca yavaş ısınma süreçleri ise kullanılamayacak kadar fazla ısı tüketimine neden olur. Ultra saf suyu ısıtmak için kullanılan lambalar sayesinde bu süreçler istenen aralık içinde kalır.
Önemli olan şeyler
Kvartz kaplamalı kısa dalga kızılötesi yayıcılar kullanılır; bu yayıcılar, ultra saf suyun ve foto dirençlerin ışığı nasıl emdiğine göre ayarlanır. Böylece minimum ısı kaybıyla doğrudan ve hızlı enerji transferi sağlanır. Hedef bölgedeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında tutulur ve tekrarlanabilirlik ise kullanım noktasındaki kapalı devre kontrolü sayesinde sağlanır. Lamba başlığı, 1’den 100’e kadar olan temiz oda sınıflarında rahatça kullanılabilir; tasarımı gereği hiçbir parçacık üretmez ve sıvı akış yolunu kapalı tutarak iyon sızıntısını engeller. Cihazlar 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil bir şekilde çalışır ve yoğunluk değişimi %5’in altındadır.
Neden bu sistem işlem için uygundur?
Yongaların kurutulmasında, lamba işlem süresini kısaltırken yüzeylerin kusursuz kalmasını sağlar. Litografide ise yumuşak ve katı ısıtma yöntemleri sayesinde CD kontrolü iyileşir ve kötü kalitedeki bölgeler ortadan kaldırılır. Paketleme işlemlerinde hızlı kuruma sayesinde fırında geçirilen süre azalır ve yapışma kalitesi bozulmaz. Temizleme ve kurutma işlemlerinde ise sistem yapıları yeniden kaplanmadan kurutur; böylece atık miktarı ve yeniden işleme ihtiyacı azalır. Enerji kullanımı da azalır, çünkü ısı doğrudan işleme yönlendirilir, oda içine değil.
Dikkat edilmesi gerekenler
Lamba mevcut ıslak çalışma alanlarına yerleştirilebilir; ancak substrat yüzeyiyle uyumlu hale getirilmesi homojenlik açısından çok önemlidir. Akış hızı, güç yoğunluğu ve sıcaklık ayarlarının hızlı bir şekilde belirlenmesi gerekmektedir. Kvartz malzeme dayanıklıdır; ancak yine de dikkatli kullanım ve periyodik kontroller gereklidir ki parçacık üretimi kontrol altında kalabilsin.