Litografi işlemlerinde, fotoresistin ısıtılması sırasında meydana gelen 0,2°C’lik bir değişiklik bile hat genişliğinin kontrolünü bozabilir ve böylece verimliliği olumsuz etkileyebilir. Geleneksel ısıtma sistemleri, termal sınırlar içinde kalarak wafer üzerindeki sıcaklık homojenliğini korumaya çalışır. Bölgesel kızılötesi ısıtma ise bu sorunu çözen basit bir yöntemdir.
Arka planda neler önemli?
Kullandığımız bölgesel kızılötesi modül, ayrı ayrı kontrol edilebilen NIR elemanlar kullanarak sıcaklığı farklı bölgelerde ölçer ve kenarlardan merkeze doğru olan sıcaklık farklarını anında düzeltir. Böylece wafer üzerinde ±0,1°C tutarında bir sıcaklık homojenliği sağlanır. Ayrıca, kritik ısıtma adımlarının standartlara uygun şekilde gerçekleştirilmesi sağlanır. Bu donanım, Temiz Oda Sınıfı 1–100 için tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı yapan malzemeler, mühürlenmiş optik elemanlar ve parçacıkları en aza indirmek için özel olarak tasarlanmış bir yapı vardır. Isıtma sırasında hiçbir parçacık oluşmaz ve uzun vadeli termal stabilite sayesinde kritik boyutlar sabit kalır.
Neden üretimde başarılı oluyor?
Bu modül, ölçülebilir bir işlem kontrolü sağlar. Yumuşak ve sert ısıtma profilleri minimum sapmayla tekrarlanır; bu sayede yeniden işleme ihtiyacı azalır ve üretim verimliliği artar. Termal tepki hızlıdır, böylece profil kalitesinden ödün vermeden işlem sürelerini kısaltabilirsiniz. Enerji yalnızca gerekli olduğu yerlere gittiğinden, her parti başına maliyet düşer. Daha az atık wafer, daha az alarm ve 24/7 kesintisiz çalışabilen bir ısıtma profili elde edilir.
Pratik detaylar
Montaj, odanın boyutlarına uyum sağlamak ve mevcut gaz ve güç arayüzlerine bağlantı kurmakla ilgilidir. Arayüz çizimlerini ve doğrulama protokollerini biz sağlıyoruz. Bu modül standart wafer işleme yöntemleriyle çalışır; ancak doğrudan daldırma veya ıslak işlemler için uygun değildir. Siteye özgü ısıtma parametrelerini belirlemek ve ürünlerinizin homojenliğini kontrol etmek için kısa bir test süreci gereklidir.