У чистій кімнаті класу 1 на гарячу плату розміщується пластинка діаметром 300 мм. Товщина шару фотошару контролюється за допомогою температури, а не заради бажання. Навіть зміна температури на 2°C може призвести до пошкодження поверхні пластинки, що призведе до втрати результатів роботи протягом цілого тижня. Ми створили інфрачервоний нагрівач у вакуумній камері, щоб усунути необхідність у припущеннях під час процесу нагрівання.
Що є важливим у конструкції нагрівача
Нагрівач використовує кварцеві емітери короткохвильового випромінювання для прямого нагрівання; час реакції становить кілька мілісекунд. На всій активній поверхні пластинки рівномірність температури становить ±0,1°C, а повторюваність результатів – 0,05°C. Корпус камери виготовлений з електрополірованої нержавіючої сталі 316L; така конструкція дозволяє зменшити викид газів. Камера може працювати в умовах вакууму до рівня 10^-6 мбар. Конструкція камери, придатна для використання в чистих кімнатах, забезпечує відсутність утворення частинок навіть після 5 000 годин роботи при температурі 250°C. Інтегрована пирометрія та система закритого контролю забезпечують стабільність температури під час процесу нагрівання.
Чому цей нагрівач ефективний для обробки фотошару
Тепловий баланс є дуже важливим параметром. Цей нагрівач забезпечує точне контролювання температури під час процесу нагрівання, що дозволяє стабілізувати критичні параметри та зменшити кількість необхідних переробок. Швидке підвищення температури скорочує час виконання процедури, а низька теплова щільність зменшує споживання енергії. У результаті досягається стабільний рівень якості продукції на лініях з обробкою пластинок діаметром 200 та 300 мм, зменшується кількість відходів та необхідності повторної обробки. Також можна планувати час технічного обслуговування.
Що потрібно враховувати під час встановлення
Під час встановлення необхідно врахувати геометрію камери та параметри емісії нагрівача, а також налаштувати його відповідно до конкретних теплових навантажень. Потрібен короткий період налаштувань для визначення оптимальних параметрів роботи нагрівача. Після цього система буде працювати стабільно, але необхідно щокварталу перевіряти емітери та щорічно налаштовувати їх для збереження рівномірності температури на рівні ±0,1°C.