کلاس 1 کے صاف کمرے میں، 300 ملی میٹر کا ویفر گرم پلیٹ پر رکھا جاتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی ترتیب درجہ حرارت کے ذریعہ ہی کی جاتی ہے، نہ کہ خواہشات کے ذریعہ۔ سطح پر 2 ڈگری سیلسیس کا فرق بھی سی ڈیوں کی ساخت کو بگاڑ سکتا ہے، اور ایک ہفتے کی محنت کو ضائع کر سکتا ہے۔ ہم نے ویکیوم چیمبر میں انفراریڈ ہیٹر استعمال کیا، تاکہ اس قسم کے خطرات سے بچا جا سکے۔
کون سے عوامل اہم ہیں؟
ہیٹر میں شارٹ-ویو کوارٹز ایمیٹرز استعمال کیے گئے ہیں، جن کی وجہ سے فوری حرارت پیدا ہوتی ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1 ڈگری سیلسیس کے درمیان رہتی ہے، جبکہ ہر بار کی پروسیسنگ میں درجہ حرارت کی تغیرات 0.05 ڈگری سیلسیس کے درمیان رہتے ہیں۔ چیمبر کا جسم 316L اسٹینل سے بنایا گیا ہے، جس کی وجہ سے گیسوں کا اخراج کم ہوتا ہے، اور یہ 10^-6 مبار کے ویکیوم ماحول میں کام کر سکتا ہے۔ صاف کمرے کے ماحول میں، 250 ڈگری سیلسیس پر 5,000 گھنٹے کام کرنے کے بعد بھی ذرات کی پیداوار صفر رہتی ہے۔ انٹیگریٹڈ پائرومیٹری اور بند لوپ کنٹرول کی وجہ سے، پروسیسنگ کے دوران درجہ حرارت کو مستحکم رکھا جا سکتا ہے۔
فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں یہ کیوں کارآمد ہے؟
حرارتی توازن بہت اہم ہے۔ یہ ہیٹر، سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے لئے درست حرارتی پروفائل فراہم کرتا ہے، جس سے اہم ابعاد مستحکم رہتے ہیں، اور دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ تیز رفتار حرارت پیدا کرنے سے پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور کم حرارتی ماس کی وجہ سے توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔ اس طرح 200 ملی میٹر اور 300 ملی میٹر والی لائنوں پر ہمیشہ مستقل معیار کی پروڈکشن حاصل ہوتی ہے، فضول مال کم ہوتا ہے، دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور مرمت کے لئے منصوبہ بندی کرنا آسان ہو جاتا ہے۔
کن چیزوں کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے؟
نصب کرتے وقت، چیمبر کی ساخت اور ایمیٹر کی خصوصیات کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے، اور پھر ہیٹر کو مخصوص حرارتی بوجھ کے مطابق ترتیب دینا ضروری ہے۔ پائرومیٹر کی پوزیشن اور رفتار کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے کچھ وقت درکار ہے۔ ایک بار یہ سیٹ ہو جانے کے بعد، سسٹم بغیر کسی مشکل کے کام کرتا رہتا ہے، لیکن ہر سہ ماہی میں ایمیٹر کی جانچ کرنا اور سالانہ کیلیبریشن کرنا ضروری ہے، تاکہ ±0.1 ڈگری سیلسیس کی یکسانیت برقرار رہ سکے۔