
Hãy cùng bàn về công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại loại UHP dành cho nhà máy sản xuất của bạn. Chúng tôi chế tạo các bóng đèn sưởi ấm loại UHP vì chúng tôi hiểu rõ mức độ khó khăn trong quá trình xử lý wafer – khi mà mọi yếu tố đều ảnh hưởng đến tỷ lệ thành phẩm. Ngày nay, mọi người đều mong muốn xây dựng những nhà máy “xanh”, nhưng đối với chúng tôi, việc chuyển sang sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại là điều hoàn toàn hợp lý – điều này giúp tránh lãng phí năng lượng.
Nhược điểm của phương pháp cũ
Hãy tưởng tượng một lò nung thông thường: đó giống như việc cố gắng làm ấm cả ngôi nhà chỉ để hâm nóng một cốc cà phê thôi; bạn đang lãng phí rất nhiều năng lượng vào việc làm nóng các bức tường của lò. Các bóng đèn UHP của chúng tôi thì không như vậy. Chúng trực tiếp chiếu năng lượng vào bề mặt wafer. Nhờ việc tập trung năng lượng vào một bước sóng cụ thể, thời gian khởi động thiết bị sẽ được rút ngắn. Thiết bị sẽ dành ít thời gian ở trạng thái chờ đợi hơn, và dành nhiều thời gian hơn để hoạt động thực sự. Điều này giúp giảm thiểu lượng năng lượng tiêu thụ.
Lưu ý quan trọng
Mặc dù mật độ công suất cao giúp tăng tốc độ xử lý, nhưng nó cũng gây áp lực lớn lên hệ thống cung cấp điện. Nếu bạn sử dụng các bộ phân phối điện có điện áp cao, hãy đảm bảo rằng hệ thống điện của bạn có thể chịu đựng được áp lực đó. Bạn không muốn gặp sự cố với hệ thống điện trong lúc khởi động máy.
Vấn đề liên quan đến ô nhiễm
Chúng ta đều biết rằng vài hạt bẩn nhỏ cũng có thể làm giảm tỷ lệ thành phẩm. Đó thực sự là một vấn đề nghiêm trọng. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng silic tổng hợp, với hàm lượng kim loại gần như bằng không. Chúng tôi cũng vệ sinh kỹ lưỡng các bóng đèn để loại bỏ các hợp chất hữu cơ bay hơi. Nhờ vậy, bạn sẽ không phải đối mặt với tình trạng khí thải khó chịu trong vài lần xử lý đầu tiên.
Về các đầu nối
Chúng tôi rất chú trọng đến các đầu nối. Chúng tôi sử dụng các phụ kiện chuyên dụng để đảm bảo tính kín khít của các kết nối. Nếu có sự rò rỉ điện, nó không chỉ gây nguy cơ về mặt điện, mà còn có thể làm hỏng bề mặt wafer trước khi bạn kịp nhận ra.
Sự cân bằng thực tế
Việc chuyển sang sử dụng công nghệ sưởi ấm bằng tia hồng ngoại chắc chắn sẽ giúp giảm lượng năng lượng tiêu thụ trên mỗi wafer. Tuy nhiên, các bóng đèn này không thể hoạt động mãi mãi. Sợi dây tóc trong bóng đèn sẽ dần bị bay hơi theo thời gian. Đó là quy luật vật lý. Để duy trì hiệu suất xử lý, bạn cần lên kế hoạch thay thế bóng đèn định kỳ. Dù thế nào, cũng đừng chờ đến lúc bóng đèn hỏng mới thay thế. Việc phải vứt bỏ toàn bộ sản phẩm vì một bóng đèn hỏng là một sai lầm mà bạn không nên mắc phải.