别再等待烤箱加热了：为何红外加热才是最佳选择
如果你仍在使用热空气循环方式来进行半导体深度加工，那其实你有一半的时间都在等待中度过。
想想热空气加热的原理吧：先加热水分，再让这些热空气去加热晶圆。这显然是一种效率低下的方法，就像用吹风机来给整个房间供暖一样。
而红外加热则不同。它直接利用辐射能来加热晶圆，无需任何中间介质，也无需等待空气升温。等待带来的实际代价
凡是曾经在加热室内工作过的人，都了解那种等待的煎熬。设定好温度后，就只能一直等待。而使用红外灯的话，几秒钟内就能达到目标温度。这对于需要快速加热的场景来说意义重大。如果无法立即提升温度，那么晶圆就有可能变形，从而引发严重问题。当然，凡事都没有完美之处
优点在于，不需要那些庞大且嘈杂的鼓风机以及复杂的通风系统。只需要将红外线灯正确安装，调整好距离即可。不过，也要注意，因为红外加热速度太快，很容易出现过热的情况。如果红外线灯的位置不对，就容易产生局部过热现象。此外，还需要配有能够跟上这种快速加热速度的PID控制器，否则很可能在不知不觉中就超过目标温度。为什么大家都选择红外加热
归根结底，就是因为它能更快地将晶圆从室温提升到目标温度。此外，红外加热还能让晶圆表面获得更均匀的加热效果。不必再为处理乱流或浪费大量电能来加热机器的金属外壳而烦恼。能量可以被精确地传递到所需的位置。如果你仍使用传统的气动加热方式，那可就是浪费金钱了。采用红外加热并不是为了追求什么复杂的技术升级，而是为了让晶圆能更快地完成加工。这样一来，生产效率更高，每块晶圆的成本更低，也不用再花大量时间等待了。