在制造车间里，固态电池晶圆加工过程中，根本容许不了任何温度偏差。哪怕只有1度的温度差异，都会导致晶圆各部位的温差增大；而如果加热温度过高，则会导致晶圆结构损坏。因此，我们设计了这种红外加热器，以确保在每批晶圆、每个生产班次中，其温度都能控制在理想范围内。
真正重要的是能够实现精确的控制。短波红外光能快速地将能量传递到薄膜和基板上，且整个工作区域的温度均匀度可保持在±0.1℃左右。不同批次之间的温度重复性则可达到±0.5℃，这样一来，无论是软烘烤、硬烘烤还是后续的烘烤过程，都能符合标准要求，从而避免返工。该设备适用于1级到100级的洁净室环境，而且其加热设计不会产生任何颗粒物。我们的设计目标是确保设备能够24/7持续运行，同时有可靠的平均无故障时间数据作为支持，从而便于进行预测性维护。
之所以选择这种技术，是因为工艺窗口很窄，而生产时间又非常宝贵。使用这种技术可以更快地达到目标温度，还能更精准地控制关键尺寸，从而减少因过度烘烤或烘烤不足而导致的废品率。此外，由于红外光直接加热目标物体，而非其周围的结构，因此能耗也会降低。这样一来，就不必再担心局部过热或过冷的问题，产品的合格率也会提高。
需要注意的是，红外技术的效果取决于材料的发射率和反射率。对于经过涂层的基板或多层结构，需要先进行一次快速的温度测试，以确定合适的参数。一旦确定了这些参数，系统就能保持稳定的温度，不过，要想在不同材料上获得一致的结果，这一步骤是不可或缺的。