半导体光刻烘箱灯

在光刻车间里，只要光刻胶在加热过程中温度出现0.5°C的波动，整批产品就可能变成废品。因此，所需要的不是那种不可预测的温度控制方式，而是一种能够精确控制的加热系统。 技术上重要的因素 我们的光刻炉所使用的灯管能发出波长较短的红外光，且其光谱分布非常精确，恰好处于光刻胶的吸收范围内。这样一来，就能实...