可与真空环境配合使用的红外加热器

减少半成品加工过程中的能量浪费：红外加热技术的真谛 如果我们真的想实现半导体工厂的碳中和目标，就必须停止在加热过程中浪费如此多的能源。长期以来，人们一直使用传统的电阻式加热器。但问题是，这类加热器的效率极低。 我们现在改用与真空环境相兼容的红外灯。相比那种试图加热整个真空腔体的方式——这无疑是一种...