Veeco MOCVD加热灯

在芯片制造过程中，温度的微小变化并不会立即显现出来。它只会悄悄地降低产品的良率。在MOCVD工艺中，如果光源的照射不均匀，就会导致晶圆表面的厚度和成分出现差异。我们可以通过光谱分析发现这种问题，也能从设备的性能表现中看出端倪，而报废率则能反映出这一问题的严重性。 从技术层面来看，关键点在于：...