OLED 线上的烘干不是暂停，而是控制点
晶圆经过清洗后，需要一个稳定的表面以进行光刻。光刻胶烘干不足会导致边缘积胶，进而引起叠层偏移。烘烤不均匀则会使线宽分布变宽，良率下降。我们设计的红外烘干灯就是为消除这种工艺变异而生。
技术要点
我们采用短波红外发射器，配备快速响应的灯丝和石英光学元件，能量直接作用于光刻胶层。系统在烘烤区内保持晶圆级温度均匀性在 ±0.1°C 以内，确保热预算在批次间保持一致。
软烘干曲线在一个紧密窗口内重复，硬烘烤转变过程清晰，无过冲。洁净室兼容性内置：采用低放气材料，密封灯箱，控制气流路径，粒子产生几乎为零。
为何适合 OLED
OLED 叠层薄且敏感，且日程紧张。灯具缩短了烘干和烘烤时间，同时保持工艺曲线不变，实现循环时间缩短且薄膜厚度控制不受影响。
我们将热量聚焦于所需区域，而非腔体壁面，因此能耗降低。设备可靠性体现在运行时间：单元连续运行超过 5,000 小时，输出衰减低于 5%，减少停机和预防性更换。
需知事项
安装时需匹配灯具占地尺寸与轨道接口，并将辐照强度分布对准晶圆尺寸。灯具输出对间距敏感，若间隙超出推荐范围，均匀性会下降。
预计需要短时间调试以优化工艺配方。完成校准后，借助常规计量检查可保持工艺稳定。