分区红外加热模块

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中0.2℃的温度波动就足以破坏线条宽度的精确控制，进而影响产品的良率。传统的加热方式试图在保持温度均匀的同时又不超出设定的温度范围。而分区红外加热则是一种简单的解决方案。 核心优势 我们的分区红外加热模块利用独立控制的近红外元件，对不同区域进行精准控温，从而实时消除从边缘...