干膜光刻胶层压加热器

在生产线上，即使是微小漂移的层压加热器也会使光刻胶厚度变得不可预测。你可以在桥接迹线、侧壁条纹和开发后被废弃的晶圆中看到这一点。我们设计的干膜光刻胶层压加热器旨在消除这种变动性。因为在这个行业，产率是以纳米为单位来衡量的，而不是以意见为标准。 关键在于温度。结果是均匀性。我们使用短波红外元件，配备...