电子专用精密红外加热器

在晶圆厂车间，90°C 软烘焙温度若波动±0.5°C，会影响尺寸控制（CD）均匀性并导致良率下降。温度不是一个可忽略的调节参数——它决定了光刻胶的行为、附着力以及图形在后续工序中的稳定性。当热控偏离时，缺陷会迅速显现：检测中发现的缺陷增加，返工量随之累积。 关键技术细节 我们基于近红外（NIR）光...