OLED制造干燥灯

OLED 线上的烘干不是暂停，而是控制点 晶圆经过清洗后，需要一个稳定的表面以进行光刻。光刻胶烘干不足会导致边缘积胶，进而引起叠层偏移。烘烤不均匀则会使线宽分布变宽，良率下降。我们设计的红外烘干灯就是为消除这种工艺变异而生。 技术要点 我们采用短波红外发射器，配备快速响应的灯丝和石英光学元件，能量...