生物传感器制造用红外灯
在生物传感器制造过程中,如何控制热量是个难题。虽然需要足够的热量来让聚合物固化或使基材移动,但不能让整个空间都充满高温。如果热量分布不均,那么昂贵的半导体设备内部就会变成一个巨大的“烤箱”,这无疑会给操作人员带来极大麻烦。
因此,我们选择使用定向红外灯来解决这个问题。
不再浪费热量 大多数加热器会...
氢气传感器制造用加热器
利用红外固化技术制造氢气传感器
在制造氢气传感器时,温度控制至关重要。如果无法妥善管理热量,那么传感器的膜层就会损坏,或者催化剂也无法牢固地附着在膜层上。为了确保一切正常运转,同时避免使用有害物质,我们采用了红外固化技术。
与那些依靠热空气加热的传统烤箱不同,红外固化技术能够将能量直接传递到需要加...
MEMS制造红外加热器
在MEMS生产线上,温度变化不仅仅是一个参数——它直接影响良率。在光刻过程中,即使软烘或硬烘温度偏离几十分之一度,也会导致晶圆上的关键尺寸扩散,使器件在离开制程轨道之前就报废。我们的红外加热器正是针对这一实际需求设计的。
关键在于可重复的加热,且供热要清洁。我们的短波红外发射阵列能快速将能量直接传...