MEMS制造红外加热器

在MEMS生产线上，温度变化不仅仅是一个参数——它直接影响良率。在光刻过程中，即使软烘或硬烘温度偏离几十分之一度，也会导致晶圆上的关键尺寸扩散，使器件在离开制程轨道之前就报废。我们的红外加热器正是针对这一实际需求设计的。 关键在于可重复的加热，且供热要清洁。我们的短波红外发射阵列能快速将能量直接传...