ক্লাস-১ ক্লিনরুমে, ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারটি হট প্লেটে রাখা হয়। ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রা ইচ্ছানুযায়ী নির্ধারিত হয় না; বরং তাপমাত্রার ভিত্তিতেই নির্ধারিত হয়। পৃষ্ঠের উপর ২°C এর পার্থক্যও CD-গুলোকে নড়িয়ে দিতে পারে; ফলে লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়া ব্যর্থ হয়ে যেতে পারে। এই সমস্যা দূর করার জন্য আমরা ভ্যাকুয়াম চেম্বারে ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করেছি।
হিটারটি কীভাবে কাজ করে?
হিটারটি শর্ট-ওয়েভ কোয়ার্টজ এমিটার ব্যবহার করে সরাসরি তাপ সরবরাহ করে; এর প্রতিক্রিয়া মিলিসেকেন্ডের মধ্যেই ঘটে। ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রার ভিন্নতা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রতিবার প্রক্রিয়া চালানোর সময় তাপমাত্রার ভিন্নতা ০.০৫°C এর মধ্যে থাকে। চেম্বারটি ৩১৬L স্টেইনলেস স্টিল দিয়ে তৈরি; এটা ওয়েল্ড করে তৈরি করা হয়েছে যাতে গ্যাস নির্গমন কম হয়। চেম্বারটি ১০^-৬ মিবার ভ্যাকুয়াম পরিবেশে কাজ করতে পারে। ক্লিনরুম-সংগত নির্মাণ ব্যবস্থার কারণে ২৫০°C তাপমাত্রায় ৫,০০০ ঘণ্টা কাজ করার পরও কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। ইন্টিগ্রেটেড পাইরোমেট্রি ও ক্লোজড-লুপ কন্ট্রোল ব্যবস্থার কারণে সঠিক তাপমাত্রা বজায় থাকে।
ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় এটি কেন কার্যকর?
তাপীয় ব্যবস্থাটি অত্যন্ত সংবেদনশীল। এই হিটারটি সঠিক তাপমাত্রা সরবরাহ করে; ফলে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকে এবং পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কমে যায়। দ্রুত তাপ সরবরাহের কারণে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়; আর কম তাপীয় শক্তি ব্যবহার হওয়ায় শক্তি সাশ্রয় হয়। ফলে ২০০ মিমি ও ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারগুলো থেকে নির্দিষ্ট মানের ফলাফল পাওয়া যায়; অপ্রয়োজনীয় অংশগুলো কমে যায়, পুনরাবৃত্তির প্রয়োজন কমে যায়; আর রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও কমে যায়।
কী বিষয়গুলো বিবেচনা করতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় চেম্বারের জ্যামিতি ও এমিটারের ক্ষমতা বিবেচনা করতে হয়; তারপর হিটারটিকে নির্দিষ্ট তাপীয় লোডের জন্য টিউন করতে হয়। পাইরোমিটারের অবস্থান ও তাপ সরবরাহের হার ঠিক করতে কিছুটা সময় লাগবে। একবার সবকিছু ঠিক হয়ে গেলে সিস্টেমটি স্থিতিশীলভাবে কাজ করবে। কিন্তু প্রতি ত্রৈমাসিকে এমিটারটি পরীক্ষা করতে হবে এবং বার্ষিকভাবে ক্যালিব্রেশন করতে হবে; যাতে ±০.১°C তাপমাত্রা বজায় থাকে।