In der Fertigungshalle ist eine Temperaturänderung während des Trocknens der Wafern oder des Photoresists keine theoretische Frage – es handelt sich dabei um einen Einfluss auf die Produktqualität, den man messen kann. Eine Abweichung von 0,5 °C kann bereits zu Veränderungen der kritischen Abmessungen führen. Zudem verbraucht ein langsamer Temperaturanstieg wertvolle Energie, die man sich eigentlich nicht leisten kann. Ultrapures Wasser wird dazu verwendet, die Temperatur während des gesamten Prozesses konstant zu halten.
Was wirklich wichtig ist: Wir verwenden Infrarotstrahler mit Kurzwellenlänge, die in einer Quarzkapsel untergebracht sind. Dadurch wird eine direkte, schnelle Energieübertragung gewährleistet, wobei nur minimale Wärmeentwicklung entsteht. Die Temperaturgleichmäßigkeit beträgt ±0,1 °C. Die Wiederholgenauigkeit wird durch eine geschlossene Regelung direkt am Einsatzort gewährleistet. Die Lampen sind für Reinräume geeignet und erzeugen keine Partikel. Zudem bleibt der Flüssigkeitsweg verschlossen, sodass keine Ionen ausgetreten werden können. Die Geräte liefern eine stabile Leistung über 5.000 Stunden hinweg – bei einer Intensitätsabweichung von unter 5 %.
Warum das ideal für den Prozess ist: Beim Trocknen der Wafern verkürzt die Lampe die Bearbeitungszeit, ohne dass die Oberflächen beschädigt werden. Bei der Lithografie sorgen die speziellen Trocknungsmethoden dafür, dass die Kontrolle über die Abmessungen verbessert wird und Ablagerungen vermieden werden. Beim Verpacken verkürzt die schnelle Aushärtung die Zeit im Ofen, ohne dass die Haftung beeinträchtigt wird. Bei der Reinigung und Trocknung trocknet das System die Strukturen aus, ohne dass es zu erneuter Ablagerung kommt – dadurch sinken Abfälle und Nacharbeitszeiten. Der Energieverbrauch nimmt ab, da die Wärme direkt in den Prozess fließt, anstatt in den Raum.
Worauf man achten muss: Die Lampen lassen sich in vorhandenen Trocknungsanlagen einsetzen. Doch die richtige Ausrichtung gegenüber der Substanzoberfläche ist entscheidend für die Gleichmäßigkeit der Temperatur. Es ist darauf zu achten, dass die Strömung, die Leistungsintensität sowie die Temperatureinstellungen schnell eingestellt werden können. Der Quarzkörper hält zwar stand, doch er benötigt dennoch sorgfältige Handhabung sowie regelmäßige Überprüfungen, damit die Leistung weiterhin optimal bleibt.