جلوگیری از فاجعه ناشی از خراب شدن لامپها در فرآیند تولید ویفرها
اگر تا به حال فرآیندهای تولید با بار سنگین را انجام دادهاید، میدانید که چقدر این کار دشوار است. آن لامپهای مادون قرمز تحت فشار زیادی قرار میگیرند؛ و وقتی که یکی از آنها خراب شود، فاجعهبار خواهد بود. تکههای شیشه و مواد شیمیایی در همه جا پراکنده میشوند و ویفرها را آلوده کرده و باعث کاهش بازدهی تولید میشوند. این وضعیتی است که هیچکس نمیخواهد با آن روبرو شود.
ما راهی برای جلوگیری از این مشکل پیدا کردیم. ما یک ساختار مناسب برای بازتاب نور اضافه کردیم؛ این ساختار دو کار را همزمان انجام میدهد: افزایش قدرت نوری لامپ و عمل به عنوان یک سپر فیزیکی در برابر ضربات.
نحوه کارکرد آن
ما از آلومینیوم با خلوص بالا و پوشش آنودیک خاصی استفاده میکنیم. این کار صرفاً برای بازتاب نور مادون قرمز به سمت ویفر نیست؛ بلکه هدف ایجاد یک دیوار میان پوسته کوارتز و قطعات کاری است.
اگر لامپ به دلیل شوک حرارتی خراب شود، این ساختار تکههای شیشه را در خود نگه میدارد. بنابراین، نیازی نیست هر بار که لامپ خراب شود، کل خط تولید را تعمیر کنید.
عامل حرارتی (و معایب آن)
این ساختارها برای استفاده در لامپهایی با توان بالا طراحی شدهاند. با تنظیم نقطه کانونی، میتوانیم مطمئن شویم که حرارت به ویفر برسد، نه به بدنه دستگاه.
اما مشکل اینجاست که این روش دارای معایبی است؛ نقطه کانونی دقیقتر، حرارت بیشتری ایجاد میکند. اگر فنهای خنککننده ضعیف باشند، خود ساختار نیز میتواند بیش از حد گرم شود؛ این امر در نهایت باعث فرسودگی پوشش ساختار میشود. این مشکل قابل رفع است، اما باید مراقب باشید. هر ۲۰۰۰ ساعت، سطح ساختار را بررسی کنید تا مطمئن شوید همه چیز سالم است.
نحوه نصب آن
ما این ساختارها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی نصب کرد. نیازی نیست کل ساختار دستگاه را تغییر دهید یا تجهیزات را جابهجا کنید.
این ساختار در اطراف لامپ قرار میگیرد؛ اگر لامپ خراب شود، آلودگیها در همان محل باقی میمانند. این کار فرآیند تعویض لامپ را بسیار سادهتر میکند. کافی است لامپ خراب را بردارید، تکههای شیشه را تمیز کنید و لامپ جدید را نصب کنید. در این صورت، میتوانید دوباره به کار خود ادامه دهید، بدون اینکه سایر قطعات دستگاه در معرض خطر قرار بگیرند.