फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने या वेफरों को सूखाने की प्रक्रिया के दौरान तापमान में होने वाले परिवर्तन कोई सैद्धांतिक मुद्दा नहीं है; बल्कि यह उत्पादन दर पर सीधा प्रभाव डालने वाला कारक है। 0.5°C का परिवर्तन भी वेफरों के आकार/आकृतियों पर प्रभाव डाल सकता है, और धीमी गति से होने वाला तापमान परिवर्तन ऐसी स्थिति पैदा करता है जिसका सामना करना मुश्किल हो जाता है। अत्यधिक शुद्ध पानी को गर्म करने हेतु विशेष लैंपों का उपयोग किया जाता है, ताकि प्रक्रिया के दौरान तापमान नियंत्रित रहे।
प्रक्रिया में क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज से बने ऐसे इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं, जो अत्यधिक शुद्ध पानी एवं फोटोरेजिस्ट द्वारा ऊर्जा के अवशोषण के अनुरूप होते हैं। इससे न्यूनतम ऊष्मा के साथ ही त्वरित ऊर्जा हस्तांतरण संभव होता है। लक्षित क्षेत्र में तापमान +/-0.1°C के भीतर ही रहता है, एवं उपयोग के समय ही नियंत्रण प्रणाली द्वारा इसकी नियमित जाँच की जाती है। ये लैंप क्लास 1 से 100 तक के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकते हैं; इनसे कोई कण नहीं उत्पन्न होता, एवं तरल पदार्थों का प्रवाह भी नियंत्रित रहता है। ये लैंप 5,000+ घंटों तक स्थिर आउटपुट देते हैं, एवं इनकी तीव्रता में 5% से कम परिवर्तन होता है।
यह प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
वेफरों को सूखाने की प्रक्रिया में, ये लैंप प्रक्रिया के समय को कम करते हैं, एवं सतहों को दागरहित रखते हैं। लिथोग्राफी में, इन लैंपों के कारण तापमान नियंत्रित रहता है, जिससे उत्पादन दर में सुधार होता है। पैकेजिंग में, इन लैंपों के कारण ओवन में रहने का समय कम हो जाता है, एवं उत्पादों की चिपकने की क्षमता भी बनी रहती है। सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में, ये लैंप संरचनाओं को बिना किसी नुकसान के सूखा देते हैं; इससे अपशिष्ट एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि ऊर्जा सीधे प्रक्रिया में ही जाती है, कमरे में नहीं।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
ये लैंप मौजूदा उपकरणों में भी उपयोग में आ सकते हैं, लेकिन सब्सट्रेट सतह के साथ इनका सही तरीके से संरेखण होना आवश्यक है। फ्लो, पावर डेंसिटी एवं तापमान सेटिंगों को जल्दी ही समायोजित करना आवश्यक है। क्वार्ट्ज सामग्री तो मजबूत होती है, लेकिन इसकी सावधानीपूर्वक देखभाल एवं नियमित जाँच आवश्यक है, ताकि इसका प्रदर्शन बना रहे।