ファブラボ用の高温炉

ファブラボの工作台で、フォトレジストの加熱処理は単なる「便利な機能」ではありません。それは、重要な寸法を安定させるための不可欠なプロセスなのです。数度の温度変動やウェーハ上の局所的な過熱があるだけで、リソグラフィーの精度は失われてしまいます。私たちは、このような状況を防ぎ、繰り返しの加工でも一貫し...