なぜウェーハ処理において強制送風方式をIR加熱に切り替えるのか 半導体処理に携わったことがある人なら、待つということがどれほどイライラするかを知っているはずです。特に、ホットエアを使ってウェーハが適切な温度になるのを待つ時間は本当に苦痛です。 問題は、強制送風方式は効率が悪いという点です。つまり、...

ファブフロアでは、90℃で±0.5℃のドリフトがあるソフトベイクはCDの均一性を乱し、歩留まりを低下させる。温度は単なる背景の調整項目ではなく、フォトレジストの挙動、付着性、そしてパターンの後工程での保持性を決定する。熱制御が不安定になると、検査での欠陥や再作業の増加として即座に現れる。 内部で重...