なぜウェーハ処理において強制送風方式をIR加熱に切り替えるのか 半導体処理に携わったことがある人なら、待つということがどれほどイライラするかを知っているはずです。特に、ホットエアを使ってウェーハが適切な温度になるのを待つ時間は本当に苦痛です。 問題は、強制送風方式は効率が悪いという点です。つまり、...

ウェーハの適切な加熱方法（無駄なエネルギーの消費を避けるために） もし、製造プロセスをカーボンニュートラルにすることを目指しているのであれば、熱管理をしっかり行う必要があります。従来の方法、つまり抵抗加熱式の炉を使う方法は、まるで家全体を暖めるのに、たった一枚のピザを温めるだけのエネルギーを使って...

IR硬化技術を用いた水素センサーの製造 水素センサーを製造する際には、熱管理が非常に重要です。もし熱管理を間違えると、膜が壊れたり、触媒が正しく固定されなくなったりします。これを適切に行い、かつ環境に優しく、鉛を含まない製品を作るために、私たちはIR硬化技術を積極的に利用しています。 従来の対流式...

スマートな方向制御型赤外線ヒーティング：熱を必要な場所に送る 私たちがスマートな赤外線ヒーティングシステムを開発したのは、単純な理由からです。それは、熱がどこに行くかを完全にコントロールできるようにするためです。 スマートセンサーを梱包する際、これは部品自体を加熱することを意味します。そうすれば、...