真空チャンバー用赤外線ヒーター

クラス1のクリーンルーム内で、300mmウェーハがホットプレート上に置かれます。フォトレジストの硬化は、願望によってではなく、温度によって制御されます。表面の温度が2℃変動するだけで、CDの位置がずれたり、リソグラフィー層が乱れたりして、1週間分の成果が台無しになることもあります。そうした不確実性...