ウェーハ用高精度IRセンサー

なぜウェーハ処理において強制送風方式をIR加熱に切り替えるのか 半導体処理に携わったことがある人なら、待つということがどれほどイライラするかを知っているはずです。特に、ホットエアを使ってウェーハが適切な温度になるのを待つ時間は本当に苦痛です。 問題は、強制送風方式は効率が悪いという点です。つまり、...