Veeco MOCVDヒーターランプ

製造現場では、温度の変動は目立った形で現れることはありません。ただ静かに、製品の品質を低下させていくだけです。MOCVDでは、均一でないランプの出力により、ウェーハ全体に厚みや成分のばらつきが生じます。これは分光分析で確認でき、デバイスの性能にも影響を与え、廃棄物の報告書からもその影響が見て取れま...