파편으로 인한 피해를 막아보세요: 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하는 방법
반도체 제조 공장에서는 단 한 번의 고장만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 저도 그런 상황을 직접 목격했습니다. 열이 너무 많이 가해져서 적외선 램프가 파손되면, 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 클린룸 전체가 석영 조각과 금속 파편으로 가득 차게 됩니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 그러한 문제가 발생하기 전에 미리 대비합니다.
웨이퍼를 보호하는 “안전망”
우리는 고순도의 융합 석영을 사용하여 램프의 외관을 만듭니다. 이 석영은 극심한 온도 변화에도 견딜 수 있습니다. 하지만 그だけ으로는 충분하지 않습니다.
우리는 추가적인 보호층을 추가하여, 램프가 파손될 경우 그 파편들을 붙잡아 주는 역할을 합니다. 이건 마치 휴대폰의 화면 보호 필름과 같습니다. 내부 필라멘트가 손상되어 유리가 깨져도, 이 보호층이 파편들을 고정시켜 줍니다. 그렇게 되면 웨이퍼는 계속 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
하드웨어에 과도한 부담을 주지 마세요
고부하 상태에서 생산을 할 때는 램프에 엄청난 부담이 가해집니다. 램프가 너무 빨리 고장나는 것을 막기 위해, 우리는 필라멘트의 전력량을 매우 정밀하게 설정합니다.
하지만 중요한 것은, 전원 공급 장치의 전압이 우리가 요구하는 수준과 정확히 일치해야 한다는 것입니다. 만약 그렇지 않으면, 램프에 과도한 열이 가해져 석영이 손상될 수 있습니다.
작은 세부 사항도 중요합니다
설치 과정에서 많은 사람들이 실수를 합니다. 우리는 표준화된 커넥터를 사용하여 연결 부위를 단단히 고정시키지만, 그래도 배선할 때는 반드시 다시 확인해야 합니다.
왜냐하면 연결이 느슨하면 아크가 발생하여 램프의 끝부분이 손상될 수 있기 때문입니다. 이는 작은 세부 사항일 수 있지만, 매우 중요합니다.
참고로, 그 보호층은 약 3-5% 정도의 열을 차단합니다. 그래서 램프의 성능이 약간 떨어질 수 있습니다. 이를 보완하기 위해서는 전력을 높이거나 웨이퍼를 조금 더 오랫동안 처리해야 합니다. 이는 작은 희생일 뿐이지만, 파손된 웨이퍼들을 청소하는 것보다는 훨씬 낫습니다.