문제가 발생했을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 웨이퍼 제조 공장에서는 램프가 고장 나는 것이 큰 문제입니다. 단순히 기계가 몇 시간 동안 작동하지 않는 것에 그치지 않습니다. 만약 고출력의 열로 인해 석영관이 파손된다면, 유리 조각과 텅스텐 조각들이 실리콘 위로...

타버린 램프로 인해 제품이 망가지는 것을 막아야 합니다. 대량 생산 환경에서는 램프가 고장나는 것은 재앙과 같습니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어져 제품이 손상됩니다. 정말 큰 문제죠. 그래서 우리는 적외선 램프...

파편으로 인한 피해를 막아보세요: 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하는 방법 반도체 제조 공장에서는 단 한 번의 고장만으로도 모든 것이 망가질 수 있습니다. 저도 그런 상황을 직접 목격했습니다. 열이 너무 많이 가해져서 적외선 램프가 파손되면, 단순히 생산이 중단되는...

램프가 폭발하는 것을 막고 웨이퍼를 보호하는 방법 생산 라인에서 문제가 발생했을 때 어떤 일이 일어나는지 살펴보겠습니다. 램프 하나가 고장 나면 모든 작업이 중단될 수 있으며, 더 심각한 것은 값비싼 웨이퍼들이 오염될 수 있다는 점입니다. 정말 끔찍한 상황이죠. 그래...

서론 이제 열에 대해 이야기해 보겠습니다. 반도체 제조 공장에서는 장비들이 과열되는데, 이러한 열은 에너지 소비 측면에서도, 안전성 측면에서도 문제가 됩니다. 저희는 바로 이러한 문제를 해결하기 위해 특수한 적외선 가열 램프를 개발했습니다. 즉, 불필요한 열이 기계...

팹랩의 작업대에서는 포토레지스트를 소성하는 과정이 단순히 ‘선택적으로 수행되는 작업’이 아닙니다. 오히려 이 과정은 치명적인 오차를 방지하기 위한 핵심적인 단계입니다. 몇 도만의 오차나 웨이퍼 표면의 특정 부분이 과열되면, 리소그래피 공정에서 필요한 정밀도가 사라집니...