팹랩용 고온 용광로

팹랩의 작업대에서는 포토레지스트를 소성하는 과정이 단순히 ‘선택적으로 수행되는 작업’이 아닙니다. 오히려 이 과정은 치명적인 오차를 방지하기 위한 핵심적인 단계입니다. 몇 도만의 오차나 웨이퍼 표면의 특정 부분이 과열되면, 리소그래피 공정에서 필요한 정밀도가 사라집니...