진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
반제품 생산 과정에서의 에너지 낭비 줄이기: 적외선 가열의 진실
만약 반도체 공장에서 탄소 중립 목표를 실현하고 싶다면, 열처리 과정에서 발생하는 엄청난 양의 에너지 낭비를 막아야 합니다. 오랫동안 사람들은 기존의 저항식 히터를 사용해왔습니다. 하지만 이러한 히터들은...
진공 챔버용 적외선 히터
1등급 클린룸 내에서, 300mm 웨이퍼가 가열판 위에 놓입니다. 포토레지스트의 건조는 인위적인 조절이 아닌 온도에 의해 이루어집니다. 표면 온도가 2°C만 변해도 CD의 형태가 변하거나 리소그래피 층이 손상될 수 있으며, 그로 인해 일주일 치의 작업 성과가 사라질...