在光刻生产线上，光阻烘烤过程中哪怕有0.1°C的温度变化，都可能使关键尺寸发生纳米级的偏差。这已经超出了“容忍范围”，直接导致产物报废。因此，我们设计了短波红外灯，以此消除这种不确定性，从而确保晶圆表面的均匀性——这不再是不确定的因素，而是一种可实现的指标。
我们选择短波红外线作为发光源，因为它的加热效率更高，热惯性低。其峰值发射波长与常见光阻的吸收特性相匹配，因此能量能够直接作用于光阻层，而非其他部分。这样一来，150/200/300毫米规格的晶圆表面温度均匀性可以保持在±0.1°C范围内，而在烘烤过程中，温度稳定性则可控制在0.5°C以内。
石英外壳及反射器的设计有助于减少颗粒的产生，从而让洁净室内的颗粒浓度保持在1-100级标准范围内。该灯具的使用寿命可超过5,000小时，其光强度下降幅度不到5%。
在光刻工序中，这意味着可以更精确地控制光阻的烘烤过程，从而减少缺陷，同时也能更可靠地控制晶圆的尺寸精度。快速的升温与冷却速度则有助于提高生产效率，且不会增加额外的热量消耗。由于灯具只是对目标物体进行加热，而非整个腔体，因此能耗也会降低。
该灯具具备24/7连续运行的能力，而且其模块可以热插拔，这样即使出现意外情况，生产线也不会停止运转。
安装过程相当简单，只需将其安装在标准的轨道上即可。不过，需要注意光学对准以及敏感部件周围的电磁屏蔽问题。此外，还需要将此灯具与现有的温度控制器及互锁装置相连，然后根据光阻的特性来调整烘烤参数。
此外，还需要定期检查反射器并清洁石英外壳，这样才能确保多年来的性能稳定，而不仅仅是几个季度而已。