晶圆加工设备用温度传感器

正确控制晶圆加热方式（避免能源浪费） 如果您希望让制造过程实现碳中和，就必须考虑热能利用效率的问题。传统的电阻式加热方式，就好比为了加热一块披萨而让整个房子都处于高温状态——这显然是一种浪费。 因此，我们转而使用短波红外加热灯。这类加热灯不会加热整个腔体，而是直接照射在晶圆表面。这样既简单又高效。...