用于晶圆的精密红外传感器

为什么在晶圆加工中要放弃强制空气加热，转而使用红外线加热？ 如果您曾经从事过半导体加工工作，那么您一定明白等待的痛苦。尤其是要等待晶圆达到合适的温度时，只能依靠热空气来加热。 问题在于：强制空气加热效率极低。实际上，我们只是让热空气在周围流动，希望热量能有效地传递到晶圆上。但这种方式会导致明显的热...