Wie man dem Albtraum von zerberstenden Lampen bei der Trocknung von Wafern entgegenwirkt
Wenn Sie bereits mit hohen Produktionszyklen zu tun hatten, kennen Sie die Probleme. Diese Infrarotlampen werden stark beansprucht. Und wenn eine Lampe schließlich versagt und zerbricht, ist das ein Desaster. Glasstücke und chemische Rückstände fliegen überall herum, was dazu führt, dass Ihre Wafer kontaminiert werden und Ihre Produktivität sofort sinkt. Es handelt sich dabei um ein Chaos, mit dem niemand umgehen möchte.
Wir haben eine Lösung gefunden. Wir haben einen speziellen Reflektor entwickelt, der zwei Funktionen erfüllt: Er erhöht die optische Leistung der Lampe und dient gleichzeitig als physischer Schutz.
Wie es funktioniert
Wir verwenden hochreines Aluminium mit einer speziellen Anodenschicht. Dabei geht es nicht nur darum, die Infrarotenergie zurück auf die Wafer zu lenken. Es geht auch darum, eine Barriere zwischen der Quarzkugel und der Werkstücke zu schaffen. Wenn eine Lampe wegen thermischer Belastung zerbricht, fängt der Reflektor die Trümmer auf. Die meisten Verunreinigungen bleiben somit im Reflektor gefangen. Dadurch müssen Sie nicht jedes Mal die gesamte Anlage stilllegen, um die Wafer zu reinigen.
Der Wärmefaktor – und die Herausforderungen
Diese Reflektoren sind für hohe Leistungswerte konzipiert. Durch die Anpassung des Fokuspunkts sorgen wir dafür, dass die Wärme auf die Wafer trifft und nicht auf den Maschinenrahmen. Doch es gibt einen Trade-off: Ein engerer Fokuspunkt bedeutet intensivere Wärmeabgabe. Wenn die Kühlfans schwach sind, kann der Reflektor selbst zu heiß werden, was letztendlich zur Abnutzung der Beschichtung führt. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – man muss jedoch darauf achten. Alle 2.000 Stunden sollte man die Oberfläche auf Oxidation prüfen. Das reicht aus, um sicherzustellen, dass alles noch in Ordnung ist.
Installation
Wir haben diese Reflektoren so konstruiert, dass sie direkt als Ersatz für die alten Lampen verwendet werden können. Sie müssen Ihre gesamte Maschinenaufstellung nicht neu gestalten oder Ihre Geräte umstellen, um sie einzubauen. Der Reflektor wird einfach um die Lampe geclipt. Wenn die Lampe kaputtgeht, bleiben die Verunreinigungen lokalisiert. Dadurch wird der Austauschprozess deutlich unkomplizierter. Man zieht einfach die kaputte Lampe samt dem Reflektor heraus, entfernt die Trümmer und installiert ein neues Set. So kann man wieder mit der Produktion fortfahren, ohne das restliche Produktionsprogramm zu gefährden.